Furon?PDP高純泵
精密化學(xué)分配泵
基本參數(shù)
Furon PDP精密分配泵采用尖端技術(shù)，能夠以前所未有的可靠性提供極其精確的介質(zhì)分配。Furon PDP泵使用壽命長且無需維護(hù)，最大限度延長最終用戶的正常運(yùn)行時間。我們的專利PTFE滾動隔膜技術(shù)與精密步進(jìn)電機(jī)控制相結(jié)合，無需昂貴的流量控制器即可精確分配腐蝕性或超純介質(zhì)。Furon PDP泵采用可實(shí)現(xiàn)無脈動分配的零排量閥技術(shù)。此外，可全面編程的反吹閥技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對殘留液滴的完全控制，從而確保出色的配方精度并最大限度提高化學(xué)效率。該泵是通過自身板載微處理器驅(qū)動的全集成系統(tǒng)。PDP泵既可通過直觀的圖形用戶界面（GUI）單獨(dú)運(yùn)行，也可通過內(nèi)置RS-485接口進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。所有接液表面均為適合用于分配半導(dǎo)體行業(yè)常用超純化學(xué)品的Fluoroloy-T和Fluoroloy 646。
